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    【科研儀器定制廠家】射頻電源及其應用

    2020-10-24 11:44:44

           科研儀器定制廠家的射頻電源是等離子體配套電源,它是由射頻功率源、阻抗匹配器以及阻抗功率計組成,是80年代末期在我國新型的高科技領域,應用于射頻濺射、PECVD化學氣相沉積和反應離子刻蝕等設備中。

           現代的射頻電源有了長足的發展,由80年代的電子管電源逐步發展成現代的晶體管射頻電源,功率由瓦、百瓦、千瓦到兆瓦,頻率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz等,而科研儀器定制廠家應用領域也從以前的真空領域擴展到了美容、半導體領域。

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           射頻電源產生等離子體的原理,是在一個密閉的真空壓力容器里,利用真空泵獲得一定的真空度,射頻被饋入到真空室的兩個極板間,在兩個極板間產生一個變電場。氣體在電廠上被電離,產生了相對應的離子。帶電離子不斷被加速碰撞,氣體分子產生級聯效應。就這樣產生了輝光,從而產生了等離子體。

           等離子體是由部分電子被剝離了的原子以及原子被電離后產生的正負電子而產生的離子化氣體狀物質。它是除固體、液體、氣體外物質存在的第四態。科研儀器定制廠家等離子體是一種很好的導電體,利用經過巧妙設計的磁場可以捕獲、移動和加速等離子體。等離子體物理的發展為材料、能源、信息、環境空間、空間物理和地球物理等的進一步發展提供了新的技術和工藝。

           看似神秘的等離子體,其實是宇宙中一種常見的物質,在太陽、恒星、閃電中都存在等離子體,它占了整個宇宙的99%?,F在人們已經掌握了利用電場和磁場來產生和控制等離子體。例如焊工用高溫等離子體來焊接金屬。

           等離子體可分為兩種:高溫等離子體和低溫等離子體。以上提到的是高溫等離子體?,F在低溫等離子體廣泛用于多個生產領域。例如等離子電視、嬰兒尿布表面防水涂層、增加啤酒瓶阻隔性。更重要的是在電腦芯片中的刻蝕作用,讓網絡時代成為現實。高溫等離子體只有溫度足夠高時才會發生。科研儀器定制廠家太陽和恒星不斷發出這種等離子體,組成了宇宙的99%。低溫等離子體是在常溫下發生的等離子體(雖然電子的溫度很高)。低溫等離子體可以被用于材料的表面出里或者有機、無機物的沉淀涂層處理。

           科研儀器定制廠家采用射頻濺射相比與直流濺射的有點在于:

           ⑴.可在低氣壓下進行,濺射速率高;

           ⑵.不僅可以濺射金屬靶也以濺射絕緣靶,以把金屬、半導體、絕緣體任意材料薄膜化;

           ⑶.必須十分注意接地問題。


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